多晶硅废水处理案例｜多晶硅废水处理方法

1. 项目背景

该企业年产多晶硅2.5万吨，生产过程中每日产生废水约1500m³，废水成分复杂，含有高浓度氟化物（200-300mg/L）、COD（500-800mg/L）以及悬浮物。当地环保部门要求出水氟化物≤10mg/L，COD≤100mg/L，SS≤70mg/L。

2. 废水主要来源

切割废水

：来自硅棒线切割工序，含有大量硅粉和切割液

酸洗废水

：主要成分为HF、HNO3及溶解的金属离子

碱洗废水

：含有NaOH、硅酸盐及表面活性剂

洗涤塔排水

：来自废气处理系统的喷淋废水

3. 处理工艺流程

采用"物化预处理+生化处理+深度处理"组合工艺：

调节池

：均衡水质水量，设曝气搅拌防止沉淀

混凝沉淀

：投加CaCl2和PAC，去除氟化物（形成CaF2沉淀）和部分COD

中和反应

：加NaOH调节pH至7-

絮凝沉淀

：投加PAM强化悬浮物去除

水解酸化

：将大分子有机物分解为小分子，提高可生化性

接触氧化

：采用组合填料，MLSS维持在3000-3500mg/L

MBR膜分离

：截留污泥，保证出水SS达标

活性炭过滤

：进一步去除残留有机物

关键参数：水力停留时间（HRT）总计约28h，污泥回流比80%，膜通量15LMH。

4. 处理效果

经连续三个月运行监测，出水水质稳定优于设计标准：氟化物≤8mg/L，COD≤80mg/L，SS≤30mg/L，吨水处理成本约5.8元。系统抗冲击负荷能力强，可应对生产波动导致的进水变化。