某单晶硅生产企业采用钢丝切割工艺,每日产生含聚乙二醇(PEG)和碳化硅粉的高盐废水2000吨。废水中PEG浓度约15%,碳化硅微粉5%,NaCl3%-5%,具有高粘度、难沉降特性。
废水成分及来源
主要污染源为:1)切割液废水(PEG与硅粉混合物);2)硅片清洗废水(含微量氢氟酸);3)冷却塔排污水。特征指标:COD 80000-120000mg/L,SS 20000mg/L,电导率50-80mS/cm。
处理工艺流程
设计"微滤-树脂吸附-高压反渗透"资源化路线:
微滤系统
:陶瓷膜错流过滤(孔径0.1μm)去除99%碳化硅颗粒,滤渣经煅烧后回用。
树脂吸附
:大孔吸附树脂选择性截留PEG,脱附后PEG纯度恢复至90%以上。
盐分脱除
:SWRO海水淡化膜组脱盐,产水电导率<1000μS/cm回用于切割工序,浓盐水通过电解制备次氯酸钠消毒剂。
最终效果
PEG回收率85%,碳化硅粉回用率92%,水资源循环利用率达90%。系统每年节省新购PEG成本约1600万元,减少危废处置量3.2万吨/年。膜系统设计通量稳定在18LMH,清洗周期延长至120小时。
高盐废水处理技术关键要点
盐分耐受性
:生物法需控制盐度<3%(特殊菌种可达15%),物化法需考虑结垢风险。
分质处理原则
:优先分离有价值组分(如PEG、硅粉),再处理剩余污染物。
腐蚀防护
:316L不锈钢或FRP材质适用于氯离子<50000mg/L环境,更高浓度需采用钛材。
以上案例表明,高盐废水处理需根据行业特性选择组合工艺,通过资源回收可显著降低运行成本,符合绿色制造发展趋势。实际工程中建议先开展6个月中试验证工艺可行性。
























































