电子半导体集成电路芯片厂粉尘烟气臭气异味VOCs废气处理案例
文章分类：常见问题解答 责任编辑：鑫霖环保 阅读量：20 发表时间：2025-04-21
- 案例一：
- 项目背景：某知名半导体芯片制造企业生产过程中产生大量含有异丙醇（IPA）、醋酸乙酯、丙酮等有机溶剂的废气。
- 废气成分来源：异丙醇（IPA）、醋酸乙酯、丙酮等有机溶剂。
- 处理工艺流程：采用“预处理+冷凝回收+活性炭吸附+热再生”的组合工艺。废气首先通过旋风分离器和喷淋洗涤塔进行预处理，去除大颗粒物和水分；然后进入活性炭吸附浓缩装置，将有机废气吸附浓缩为高浓度废气；最后进入催化燃烧装置进行燃烧分解。
- 最终效果：有机物去除率达到了99%以上，排放浓度远低于国家和地方的环保标准，同时节省了运行费用，提高了经济效益。
- 案例二：
- 项目背景：某半导体制造工厂在生产过程中产生了大量含有酸性气体（如硫酸雾、氢氟酸）和碱性气体（如氨气）的废气。
- 废气成分来源：酸性气体（如硫酸雾、氢氟酸）和碱性气体（如氨气）。
- 处理工艺流程：采用“水喷淋塔+干式过滤+活性炭吸附浓缩+催化燃烧”的综合处理工艺。废气首先通过水喷淋塔和干式过滤器进行预处理，去除大颗粒物和部分水溶性污染物；然后进入活性炭吸附浓缩装置，将VOCs从气流中吸附浓缩；最后进入催化燃烧装置进行燃烧分解。
- 最终效果：显著降低了废气中有害物质的排放，符合国家和地方规定的排放标准，同时实现了经济效益与环境保护的双重目标。
- 案例三：
- 项目背景：某大型半导体芯片制造企业废气处理项目，该企业主要生产高性能芯片，生产过程中产生大量含有异丙醇（IPA）、醋酸乙酯、丙酮等有机溶剂的废气。
- 废气成分来源：异丙醇（IPA）、醋酸乙酯、丙酮等有机溶剂。
- 处理工艺流程：采用“预处理+沸石转轮吸附+RTO焚烧”的组合工艺。废气通过抽风系统收集后，经过干式过滤器去除漆雾颗粒，进入沸石转轮吸附系统；沸石转轮利用大比表面积对低浓度废气进行连续吸附，脱附后的高浓度有机废气进入蓄热式热力氧化装置（RTO）进行高温焚烧处理。
- 最终效果：有效去除了废气中的有害物质，排放浓度远低于环保标准，降低了生产成本，提高了企业环保形象。
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