西北某多晶硅切片厂因当地水资源紧缺,需实现90%废水回用。项目处理规模1200m³/d,重点解决切割液回收与水质稳定问题。
废水成分及来源
主要污染源为:
切割废液
:含聚乙二醇(PEG)、碳化硅微粉(粒径0.5-20μm)
清洗废水
:含硅粉、金属碎屑及分散剂
冷却排水
:含油类物质及热污染
处理工艺流程
创新采用"三级分离+膜集成"技术路线:
旋流分离
:去除80%以上碳化硅颗粒,回收切割砂浆
陶瓷膜超滤
:0.1μm孔径膜组件截留微细颗粒,通量维持60LMH
DTRO膜浓缩
:将PEG浓度从5%提纯至40%,回用于切割工序
反渗透脱盐
:产水电导率<50μS/cm,满足超纯水制备要求
最终效果
实现废水回用率92.3%,主要指标:
悬浮物≤1mg/L
油类≤0.5mg/L
COD≤10mg/L
年节约新水用量39万吨,切割液回收价值达260万元/年
























































